基于BF神经网络的半导体扩散炉温度控制建模

journal6 ›› 2008, Vol. 29 ›› Issue (2): 77-78.

基于BF神经网络的半导体扩散炉温度控制建模

（襄樊学院物理与电子信息技术系,湖北襄樊 441053）

出版日期:2008-03-25 发布日期:2012-05-25
作者简介:蔡兵(1964-)，男，湖北钟祥人，襄樊学院物理与电子信息技术系副教授，主要从事电工学和计算机测控技术的教学研究.
基金资助:
湖北省教育厅重点科学研究项目（D200625006）

Semiconductor Diffuse Kiln Temperature Control Modeling Based on BF NN

(Department of Physics & Electronic Information Technology,Xiangfan University,Xiangfan 441053,Hubei China)

Online:2008-03-25 Published:2012-05-25

摘要/Abstract

摘要：针对半导体扩散炉温度控制融合问题，提出了3-9-3结构的BF神经网络控制方法.建模表明：BF网络数学模型具有良好的控制品质和实用、高效等特点.

关键词： 半导体扩散炉, BF神经网络, 网络模型

Abstract: According to the problem of temperature control of semiconductor diffuse kiln,an new control approach is described in the paper,such as BF NN.The RBF NN construct is 3-9-3.Simulation results show that control method has high quality and high effect.

Key words: semiconductor diffuse kiln, BF NN, network model

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